在精密制造領(lǐng)域,無論是半導(dǎo)體制造對晶圓定位精度的極致追求,還是協(xié)作機器人對靈活性與動力輸出的雙重需求,CKD 直驅(qū)方案都以其卓越的性能優(yōu)勢脫穎而出,成為推動行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。
一、超高精度定位
- 編碼器的精密賦能:CKD 直驅(qū)方案搭載頂級高分辨率編碼器,能夠?qū)⒚恳粋€圓周精確細分為 2 的 20/24 次方個脈沖。這一精密的編碼系統(tǒng)使得定位精度可達令人驚嘆的 ±0.1μm 。在半導(dǎo)體光刻工藝中,芯片線路的寬度正不斷向納米級邁進,哪怕極其微小的定位偏差都可能導(dǎo)致線路短路或斷路,從而嚴重影響芯片性能。CKD 直驅(qū)方案憑借其超高精度定位能力,確保光刻設(shè)備中的晶圓能夠精確對準和移動,實現(xiàn)了更高分辨率和更小線寬的光刻過程,極大地提升了芯片制造的良品率。
- 消除中間環(huán)節(jié)誤差:傳統(tǒng)驅(qū)動方式需借助減速機、皮帶輪等中間傳動部件,這些部件在運行過程中會產(chǎn)生一定的間隙和彈性變形,從而不可避免地引入累積誤差。而 CKD 直驅(qū)方案摒棄了中間傳動部件,電機與負載直接連接,從根本上消除了因中間環(huán)節(jié)導(dǎo)致的定位誤差,使得定位精度得到質(zhì)的飛躍。
二、強大扭矩輸出與高扭矩密度
- 扭矩密度提升 40% 的突破:在有限的空間內(nèi),CKD 直驅(qū)方案實現(xiàn)了扭矩密度提升 40% 的重大突破。這意味著在相同體積下,電機能夠輸出更強大的扭矩。以協(xié)作機器人為例,在執(zhí)行搬運任務(wù)時,高扭矩密度使機器人關(guān)節(jié)處能夠產(chǎn)生更大的動力,輕松搬運較重的物品。在制造業(yè)中,機器人可以搬運更大尺寸、更重的零部件,有效拓展了其應(yīng)用范圍。
- 高速穩(wěn)定驅(qū)動:不僅扭矩密度高,CKD 直驅(qū)方案在高速旋轉(zhuǎn)時也能穩(wěn)定驅(qū)動較大負載。在晶圓搬運和定位設(shè)備中,需要快速且平穩(wěn)地移動晶圓,CKD 直驅(qū)方案憑借強大的扭矩輸出,無論是從晶圓盒中精準取出晶圓,還是將其精確放置在加工臺上,都能高效完成,大幅提高了生產(chǎn)效率。
三、高剛性與穩(wěn)定性
- 十字交叉軸承設(shè)計:CKD 直驅(qū)方案采用十字交叉軸承設(shè)計,賦予了電機強大的徑向和軸向負載能力,能承受較大的靜態(tài)負荷。在半導(dǎo)體制造設(shè)備長時間、高負荷的運行過程中,穩(wěn)定的機械結(jié)構(gòu)是保證定位精度的基礎(chǔ)。這種高剛性設(shè)計有效減少了因振動和外力干擾導(dǎo)致的定位偏差,確保了晶圓定位的穩(wěn)定性,即使在復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境下也能始終保持精準的工作狀態(tài)。
- 適應(yīng)復(fù)雜工況:對于協(xié)作機器人而言,工作環(huán)境復(fù)雜多變,高剛性與穩(wěn)定性讓其在頻繁的動作切換和不同的工作環(huán)境中,都能可靠地完成任務(wù),減少故障發(fā)生。無論是在車間的嘈雜環(huán)境中,還是在對精度要求極高的無塵車間,CKD 直驅(qū)方案都能保障機器人穩(wěn)定運行。
四、快速響應(yīng)與出色動態(tài)性能
- 瞬間響應(yīng)指令:CKD 直驅(qū)方案由于負載直接安裝,無中間連接件,響應(yīng)時間極短,能夠在瞬間整定到高精度狀態(tài)。在晶圓測試環(huán)節(jié),需要頻繁地對不同位置的芯片進行測試,快速響應(yīng)的直驅(qū)方案能夠快速切換測試位置,提高測試效率。在協(xié)作機器人與人協(xié)作時,也能快速響應(yīng)外界指令和變化,靈活地與人類協(xié)同工作。
- 動態(tài)性能卓越:在快速移動過程中,CKD 直驅(qū)方案能保證出色的定位準確性。協(xié)作機器人在執(zhí)行高速運動和復(fù)雜動作時,不會因速度變化而產(chǎn)生明顯的位置偏差,確保了操作的精準度和流暢性。
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