1. 編碼器的精密賦能：CKD 直驅(qū)方案搭載頂級(jí)高分辨率編碼器，能夠?qū)⒚恳粋€(gè)圓周精確細(xì)分為 2 的 20/24 次方個(gè)脈沖。這一精密的編碼系統(tǒng)使得定位精度可達(dá)令人驚嘆的 ±0.1μm 。在半導(dǎo)體光刻工藝中，芯片線路的寬度正不斷向納米級(jí)邁進(jìn)，哪怕極其微小的定位偏差都可能導(dǎo)致線路短路或斷路，從而嚴(yán)重影響芯片性能。CKD 直驅(qū)方案憑借其超高精度定位能力，確保光刻設(shè)備中的晶圓能夠精確對(duì)準(zhǔn)和移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了更高分辨率和更小線寬的光刻過(guò)程，極大地提升了芯片制造的良品率。

2. 消除中間環(huán)節(jié)誤差：傳統(tǒng)驅(qū)動(dòng)方式需借助減速機(jī)、皮帶輪等中間傳動(dòng)部件，這些部件在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定的間隙和彈性變形，從而不可避免地引入累積誤差。而 CKD 直驅(qū)方案摒棄了中間傳動(dòng)部件，電機(jī)與負(fù)載直接連接，從根本上消除了因中間環(huán)節(jié)導(dǎo)致的定位誤差，使得定位精度得到質(zhì)的飛躍。

1. 扭矩密度提升 40% 的突破：在有限的空間內(nèi)，CKD 直驅(qū)方案實(shí)現(xiàn)了扭矩密度提升 40% 的重大突破。這意味著在相同體積下，電機(jī)能夠輸出更強(qiáng)大的扭矩。以協(xié)作機(jī)器人為例，在執(zhí)行搬運(yùn)任務(wù)時(shí)，高扭矩密度使機(jī)器人關(guān)節(jié)處能夠產(chǎn)生更大的動(dòng)力，輕松搬運(yùn)較重的物品。在制造業(yè)中，機(jī)器人可以搬運(yùn)更大尺寸、更重的零部件，有效拓展了其應(yīng)用范圍。

2. 高速穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)：不僅扭矩密度高，CKD 直驅(qū)方案在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)也能穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)較大負(fù)載。在晶圓搬運(yùn)和定位設(shè)備中，需要快速且平穩(wěn)地移動(dòng)晶圓，CKD 直驅(qū)方案憑借強(qiáng)大的扭矩輸出，無(wú)論是從晶圓盒中精準(zhǔn)取出晶圓，還是將其精確放置在加工臺(tái)上，都能高效完成，大幅提高了生產(chǎn)效率。

1. 十字交叉軸承設(shè)計(jì)：CKD 直驅(qū)方案采用十字交叉軸承設(shè)計(jì)，賦予了電機(jī)強(qiáng)大的徑向和軸向負(fù)載能力，能承受較大的靜態(tài)負(fù)荷。在半導(dǎo)體制造設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間、高負(fù)荷的運(yùn)行過(guò)程中，穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)是保證定位精度的基礎(chǔ)。這種高剛性設(shè)計(jì)有效減少了因振動(dòng)和外力干擾導(dǎo)致的定位偏差，確保了晶圓定位的穩(wěn)定性，即使在復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境下也能始終保持精準(zhǔn)的工作狀態(tài)。

2. 適應(yīng)復(fù)雜工況：對(duì)于協(xié)作機(jī)器人而言，工作環(huán)境復(fù)雜多變，高剛性與穩(wěn)定性讓其在頻繁的動(dòng)作切換和不同的工作環(huán)境中，都能可靠地完成任務(wù)，減少故障發(fā)生。無(wú)論是在車間的嘈雜環(huán)境中，還是在對(duì)精度要求極高的無(wú)塵車間，CKD 直驅(qū)方案都能保障機(jī)器人穩(wěn)定運(yùn)行。

1. 瞬間響應(yīng)指令：CKD 直驅(qū)方案由于負(fù)載直接安裝，無(wú)中間連接件，響應(yīng)時(shí)間極短，能夠在瞬間整定到高精度狀態(tài)。在晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)，需要頻繁地對(duì)不同位置的芯片進(jìn)行測(cè)試，快速響應(yīng)的直驅(qū)方案能夠快速切換測(cè)試位置，提高測(cè)試效率。在協(xié)作機(jī)器人與人協(xié)作時(shí)，也能快速響應(yīng)外界指令和變化，靈活地與人類協(xié)同工作。

2. 動(dòng)態(tài)性能卓越：在快速移動(dòng)過(guò)程中，CKD 直驅(qū)方案能保證出色的定位準(zhǔn)確性。協(xié)作機(jī)器人在執(zhí)行高速運(yùn)動(dòng)和復(fù)雜動(dòng)作時(shí)，不會(huì)因速度變化而產(chǎn)生明顯的位置偏差，確保了操作的精準(zhǔn)度和流暢性。

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