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CKD化學(xué)液體用氣控閥 AMD013R AMD023R AMD033R

CKD化學(xué)液體用氣控閥 AMD013R AMD023R AMD033R

對(duì)應(yīng)不同規(guī)格的一體化機(jī)種!

品名:CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥

使用流體:純水、化學(xué)液體、空氣、氮?dú)猓ㄗ?)

主要用途:化學(xué)液體供給裝置、清洗裝置

支持【流體壓力:0.5MPa】【流體溫度:120℃】。

AMD013R AMD023R AMD033R

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主要用途:清洗裝置· 化學(xué)液體供給裝置
氣控閥
流體名2通
AMDZ※3R
AMDO※3R
AMD3※3R
AMD4※3R
AMD5※3R

……第2頁
AMDO※2


……26
AMD3※2
AMD4※2
AMD5※2


……第30頁
AMD41H
AMD51H
AMD61H


……第52頁
AMD31M
AMD51M



……第56頁
純水
酸性
流體
硫酸
鹽酸●(注10)
硝酸●(注5)●(注5)
氫氟酸(注2)●(注11)●注5,10)
磷酸
氟化銨(注2)●(注11)●(注5)
雙氧水
臭氧水
硫酸+雙氧水(注3)
硫酸+臭氧
堿性
流體
氫氧化鈉
氫氧化鉀
氨水●注6)●注6)●注6)
有機(jī)類
流體
丙酮X●注6)●(注7)●注6)— (注8)
醋酸丁酯X●注6)●(注7)●注6)— (注8)
異丙乙醇— (注8)
其它 ·
混合液
(注1)
稀釋劑X— (注8)
絕緣涂料— (注8)
顯影液— (注8)
研磨液一 (注8)
電鍍液— (注8)
剝離液(注4)— (注8)
氣體空氣、氮?dú)?/span>氣體時(shí),可能會(huì)發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。
判定可以使用。(請(qǐng)?jiān)诋a(chǎn)品登載頁確認(rèn)詳情。)
請(qǐng)與本公司協(xié)商。(某些條件下可以對(duì)應(yīng)。)
X不可使用。
注1 :由于通常采用各種各樣的化學(xué)液體的混合液,因此,無法掌握所有影響。
請(qǐng)?jiān)诔浞执_認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體的適用性后,判斷可否使用。
注2 :使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時(shí),或者流體溫度超過40℃時(shí),請(qǐng)咨詢本公司。
注3 :在100℃以上的溫度下使用硫酸+雙氧水時(shí),請(qǐng)與本公司協(xié)商。
注4 :在流體溫度80℃以上的條件下使用胺類剝離液時(shí),請(qǐng)定期更換。
建議最少一年更換一次。
注5 :請(qǐng)選擇選擇項(xiàng)“P”。
注6 :請(qǐng)選擇選擇項(xiàng)“M”。
注7 :進(jìn)行金屬配管時(shí),請(qǐng)選擇不銹鋼閥體型號(hào)。
進(jìn)行氟樹脂配管時(shí),請(qǐng)選擇選擇項(xiàng)“M”。
注8 :建議使用適于這些化學(xué)液體的AMD※※H系列或AMD※※2系列。
注9 :由于屬于高透過性化學(xué)液體,透過氣體將會(huì)混入先導(dǎo)空氣中,從而對(duì)執(zhí)行元件產(chǎn)生不良影響。
需要保護(hù)執(zhí)行元件時(shí),請(qǐng)與本公司協(xié)商。
注10 :本公司可以提供采取了酸性流體對(duì)應(yīng)對(duì)策以及透過氣體對(duì)策的特注生產(chǎn)品。請(qǐng)另行與本公司協(xié)商。
注11 :使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時(shí),流體溫度為5~80℃。無法使用旁通閥體。
注12 :氣體時(shí),可能會(huì)發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。

規(guī)格
項(xiàng)目AMDO※3R
使用流體化學(xué)液體、純水、空氣、氮?dú)?注1)
流體溫度 ℃5~120(注3、注4)
耐壓力 MPa1.0
使用壓力(A→B) MPa0~0.5
使用壓力(B→A) MPa0~0.5
閥座泄漏 cm3/min0(水壓)
背壓 MPa0~0.5
環(huán)境溫度 ℃0~60
頻率30次/分鐘以下
安裝方式自 由
配管方式ODφ6 · φ8 · φ10配管連接(接頭一體型)
OD1/4" · 3/8"配管連接(接頭一體型)
通徑 (注5)φ3.5 φ4φ6φ7φ8
Cv值 (注6)0.28 0.340.640.70.8
執(zhí)行器部控制壓力MPaNC · NO:0.35~0.5雙作用:0.3~0.4
控制氣口Rc1/8(使用控制氣口NC:Y氣口 NO:X氣口 雙作用:X、Y氣口)
注1:請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體、環(huán)境氣體的適用性后,再使用。(適用性核對(duì)表請(qǐng)參照卷頭第15頁。)
注2:有關(guān)流量特性,請(qǐng)參閱第122頁。
注3:氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體請(qǐng)?jiān)?~80℃的范圍內(nèi)使用。
注4:配管方式為F-LOCK60 系列接頭時(shí),為5~100℃。
注5:各機(jī)種的通徑請(qǐng)通過型號(hào)表示方法進(jìn)行確認(rèn)。
注6: Cv 值為溫度23℃時(shí)的值。

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