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CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥 AMDZ13R AMDZ23R AMDZ33R
對應(yīng)不同規(guī)格的一體化機種!
品名：CKD化學(xué)液體用氣控閥 2通閥
使用流體：純水、化學(xué)液體、空氣、氮氣（注1）
主要用途：化學(xué)液體供給裝置、清洗裝置
支持【流體壓力：0.5MPa】【流體溫度：120℃】。
AMDZ13R、AMDZ23R、 AMDZ33R
| 主要用途：清洗裝置· 化學(xué)液體供給裝置 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 氣控閥 | ||||||
| 流體名 | 2通 | |||||
| AMDZ※3R AMDO※3R AMD3※3R AMD4※3R AMD5※3R ……第2頁 | AMDO※2 ……第26頁 | AMD3※2 AMD4※2 AMD5※2 ……第30頁 | AMD41H AMD51H AMD61H ……第52頁 | AMD31M AMD51M ……第56頁 | ||
| 純水 | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 酸性 流體 | 硫酸 | ● | ● | ● | ● | ● |
| 鹽酸 | ● | ● | ●(注10) | ● | ● | |
| 硝酸 | ● | ●(注5) | ●(注5) | ● | ● | |
| 氫氟酸(注2) | ●(注11) | ● | ●注5,10) | ● | ● | |
| 磷酸 | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 氟化銨(注2) | ●(注11) | ● | ●(注5) | ● | ● | |
| 雙氧水 | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 臭氧水 | △ | △ | △ | △ | △ | |
| 硫酸+雙氧水(注3) | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 硫酸+臭氧 | △ | △ | △ | △ | △ | |
| 堿性 流體 | 氫氧化鈉 | ● | ● | ● | ● | ● |
| 氫氧化鉀 | ● | ● | ● | ● | ● | |
| 氨水 | ● | ●注6) | ●注6) | ●注6) | △ | |
| 有機類 流體 | 丙酮 | X | ●注6) | ●(注7) | ●注6) | — (注8) |
| 醋酸丁酯 | X | ●注6) | ●(注7) | ●注6) | — (注8) | |
| 異丙乙醇 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
| 其它 · 混合液 (注1) | 稀釋劑 | X | ● | ● | ● | — (注8) |
| 絕緣涂料 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
| 顯影液 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
| 研磨液 | ● | ● | ● | ● | 一 (注8) | |
| 電鍍液 | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
| 剝離液(注4) | ● | ● | ● | ● | — (注8) | |
| 氣體 | 空氣、氮氣 | 氣體時，可能會發(fā)生最大1cm3/min(氣壓下)的閥座泄漏。 | ||||
| 判定 | ● | 可以使用。（請在產(chǎn)品登載頁確認(rèn)詳情。） | ||||
| △ | 請與本公司協(xié)商。（某些條件下可以對應(yīng)。） | |||||
| X | 不可使用。 | |||||
| 注1 ：由于通常采用各種各樣的化學(xué)液體的混合液，因此，無法掌握所有影響。 請在充分確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與所使用流體的適用性后，判斷可否使用。 注2 ：使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時，或者流體溫度超過40℃時，請咨詢本公司。 注3 ：在100℃以上的溫度下使用硫酸+雙氧水時，請與本公司協(xié)商。 注4 ：在流體溫度80℃以上的條件下使用胺類剝離液時，請定期更換。 建議最少一年更換一次。 注5 ：請選擇選擇項“P”。 注6 ：請選擇選擇項“M”。 注7 ：進(jìn)行金屬配管時，請選擇不銹鋼閥體型號。 進(jìn)行氟樹脂配管時，請選擇選擇項“M”。 注8 ：建議使用適于這些化學(xué)液體的AMD※※H系列或AMD※※2系列。 注9 ：由于屬于高透過性化學(xué)液體，透過氣體將會混入先導(dǎo)空氣中，從而對執(zhí)行元件產(chǎn)生不良影響。 需要保護執(zhí)行元件時，請與本公司協(xié)商。 注10 ：本公司可以提供采取了酸性流體對應(yīng)對策以及透過氣體對策的特注生產(chǎn)品。請另行與本公司協(xié)商。 注11 ：使用氫氟酸或含氫氟酸的化學(xué)液體時，流體溫度為5～80℃。無法使用旁通閥體。 注12 ：氣體時，可能會發(fā)生最大1cm3/min（氣壓下）的閥座泄漏。 | ||||||
IC·LED·FPD·PV生產(chǎn)制造工藝用元件.jpg)
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